三星通过创新技术大幅减少3D NAND光刻胶使用量,提升生产效率并降低成本
三星表示,为了提高NAND生产效率并降低成本,它通过采用两项关键创新技术减少了光刻胶的使用。首先,三星在生产过程中优化了每分钟转数和镀膜机速度,在保持最佳蚀刻条件的同时减少了PR的使用,在保持镀膜质量的同时显着节省了成本。其次,PR 应用后的蚀刻工艺得到了改进,尽管使用的材料更少,但仍能达到相同或更好的结果。据了解,三星已将3D NAND生产的PR使用量减少了一半。
但三星此举也意味着东进半导体将面临订单减少的问题。据悉,东进半导体光刻胶业务年营收约为2500亿韩元,其中60%来自三星。
光刻胶被誉为“微纳世界的画家”。在半导体制造中,首先将光刻胶涂覆在硅片或其他基板上,然后通过照明和后续蚀刻进行处理,以实现精细图案的制作。 。
目前,全球光刻胶市场几乎被JSR、东京安佳、信越化学、住友化学等日本企业瓜分,这也让日本在全球半导体制造链中占据着举足轻重的地位,这也让日本取得主动。正确的。日本政府多次限制光刻胶等半导体材料的出口。其中,影响最深远的是2019年7月,日本政府宣布加强对出口韩国的半导体产业材料的审查和管控,将韩国排除在贸易“白名单”之外。 2019年韩国光刻胶对日本的依赖度为80%。不过,韩国政府在受到限制时并没有坐以待毙。它立即带头,在预算中投入6万亿韩元,鼓励韩国材料企业加快研发。 2022年12月,这笔投资终于得到回报。韩国三星电子宣布,已成功将东进半导体开发的EUV光刻胶应用于其芯片工艺生产线。东进半导体成为韩国第一家将EUV光刻胶国产化达到量产水平的公司。 (编辑)
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