据东湖国家自主创新示范区官网今天(10月15日)消息,武汉太子微光电科技有限公司(以下简称“太子微公司”)近期推出的T150A型光刻胶产品)已通过半导体工艺量产验证,实现配方完全自主设计。该产品“标准化了国际领先公司的主流KrF光刻胶系列。与国外同系列产品UV1610相比,T150A在光刻工艺中表现出120nm的极限分辨率,并具有更高的工艺宽容度和稳定性。更高,薄膜保留硬化后的速率优异...
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