近日，Tom'sHardware报道称，美国一家实验室正在研发拍瓦（功率单位，表示10^15瓦）级大口径铥（BAT）激光器。据悉，这种激光器有能力将极紫外光刻（EUV）光源的效率提高约10倍，并有望取代当前EUV工具中使用的二氧化碳激光器。其实这个消息可以追溯到上个月。当时，美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）在新闻稿中宣布，该机构领导的研究组织旨在为下一步发展极紫外（EUV）...
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